这种光刻机的第一代，里面集成了六个光刻镜头。 每个光刻镜头的内部，又有一万个的微型镜头。 合计就是6万支“笔”同时作画。 而那副“画布”，则是一块块的24寸晶圆。 另外在工作的过程中，由于采用最先进的智能控制程序，不仅光刻效率提升了3倍，甚至还做到了对每一支“笔”都能精细控制，给每支“笔”都分配不同的工作。 最终这样的一台光刻机，效率相当于五台传统的浸润式光刻机。 每天可处理1ooo片的24寸晶圆，切割出15o万枚的芯片。 这样的一条生
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