光机所的双工机台,没问题,可以用,现在工程师已经把光学套件从机场运到所里来了,测量后,现套件尺寸略大,我们正在对原有机台进行改装,估计明后天就要试着出片,一把点亮的概率很大。” “干得漂亮!”吴东明情激动脱口而出,“真要是能一把点亮,我亲自去长春,请你喝酒!” 高原笑着说道:“您别激动啊,点亮很容易,激光源经过一系列调整,输出到浸没刻蚀平台,就算点亮了,但这只是第一步,要把十二寸晶圆曝光出来,并且进行电气封装,才能算真正的成功。” “我
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