当北方的清晨亮起第一抹阳光,长春光机所地下实验室里,一场激动人心的实验,也终于开始了。『地址发布邮箱 ltxsba@gmail.com』 激光生器开始预热,这是全套光刻机台中最核心的部件之一,由中科光电院设计制造。 激光光源射出后,先会进入光束矫正器,矫正器共有三组,调整光束入射方向,让激光束尽量保持平行。 调整完毕的平行激光,会进入能量控制器。 顾名思义,能量控制器是调节激光功率的存在,控制最终照射到硅片上的能量大小。 像芯片这样的高
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