路院长说道:“g线/线光刻胶是老技术,研究设备的要求不是很高。” 江小溪想了想说道:“这样,今年我投资三个亿,要买最好的设备,尽快把g线/线光刻胶技术研究出来,最好krf光刻胶以及rf光刻胶都能用。” 第53章 接孩子 三个亿的投资金额一出来,方主任、路院长和费院士都深吸一口气,这可太好了。 路院长激动地站起来,双手握住江小溪的手使劲晃,叠声保证:“江总放心,我肯定调集研究所最好的人员来研究光刻机,尽早把g线/线光刻胶技术研究出来,一定
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